ENGLISH
Лаборатория физики СВЧ разряда была создана в ИПФ РАН в 1995 году, в 2009 году переименована в лабораторию физики СВЧ разряда и синтеза углеродных материалов.
Основные направления исследований:
- Физика свободно локализованного СВЧ разряда в волновых пучках
- Плазмохимический синтез моно и поликристаллических алмазных плёнок из газовой фазы
- Разработка высокоскоростного метода осаждения поликристаллических алмазных плёнок в плазме высокой плотности, создаваемой СВЧ излучением миллиметрового диапазона длин волн
- Исследования физических свойств алмазных плёнок
- Синтез полупроводникового CVD алмаза
- Разработка устройств твердотельной электроники, акустоэлектроники, оптики на основе алмазных плёнок
- Лазерная резка и механическая обработка (шлифовка) алмазных материалов
- Разработка активных компрессоров СВЧ импульсов с распределенными плазменными переключателями
- Исследование условий возникновения и подавления мультипакторного разряда на поверхности диэлектриков
 |
 |
 |
 |
СВЧ разряд в двух пересекающихся волновых пучках,
частота излучения 40 ГГц |
СВЧ разряд в объемном резонаторе над кремниевой подложкой, частота излучения 2.45 ГГц
|
Образцы поликристаллических CVD алмазных дисков
диаметром 75 мм и 50 мм
|
Монокристаллический CVD алмазный слой на подложке из HPHT алмаза
|
Институт прикладной физики РАН,
Ульянова, 46, ГСП-120, Нижний Новгород, 603950
